مانومتر خازنی HORIBA VG-527S
مانومتر خازنی HORIBA مدل VG-527S یک ابزار دقیق برای اندازهگیری فشار مطلق است که در فرآیندهای خلأ صنعتی مانند نیمههادی، نمایشگرهای تخت (FPD)، هارد دیسک، انرژی خورشیدی (PV) و پوششدهی کاربرد دارد. این سنسور با استفاده از دیافراگم خازنی، تغییر شکل دیافراگم در اثر اختلاف فشار را اندازهگیری میکند و به این ترتیب فشار کل سیستم را مشخص میکند. VG-527S دقت بالایی دارد، به تغییرات گازها حساسیت کمتری نشان میدهد و در برابر گازهای خورنده نسبتا مقاوم است. این مانومتر دارای رزولوشن بالا، زمان پاسخ سریع (<15 میلیثانیه)، محدودههای فشار متنوع، اتصال استاندارد KF16 و قابلیت خروجی آنالوگ 0–10 VDC و رابط دیجیتال EtherCAT® است و با بدنه و قطعات مرطوب SUS316L، مناسب محیطهای صنعتی پرچالش طراحی شده است.
ویژگیهای کلیدی مانومتر خازنی HORIBA VG-527S
- دقت بالا در اندازهگیری فشار مطلق، مناسب فرآیندهای حساس صنعتی.
- پایداری و مقاومت نسبت به گازهای خورنده به دلیل استفاده از مواد SUS316L.
- حساسیت کم به نوع گاز، برای کاربردهای متنوع صنعتی.
- زمان پاسخ سریع، مناسب برای کنترل فرآیند لحظهای.
- انعطافپذیری در اتصال و نصب با فیتینگ استاندارد KF16 و قابلیت چرخش بدنه.
- قابلیت خروجی همزمان آنالوگ و دیجیتال، آسان برای یکپارچهسازی با سیستمهای کنترلی.
- محدوده فشار گسترده و رزولوشن بالا، قابل استفاده در فرآیندهای دقیق و خلأ.
|
Horiba |
|---|---|
| محدوده اندازهگیری F.S |
0.13332 kPa (A) |
| دمای سنسور |
100-200 °C |
| دقت |
0.5 %R.S |
| رزولوشن |
0.01 %F.S |
| ضریب تغییر صفر با دما |
0.016 %F.S./°C |
| ضریب تغییر دامنه با دما |
0.02 %R.S./°C |
| زمان پاسخگویی |
< 15 میلیثانیه |
| دمای کاری |
10-60 °C |
| مواد مرطوب شونده |
SUS316L |
| حد فشار |
300 kPa (A) / 350 kPa (A) |
| سیگنال خروجی |
0-10 VDC، مقاومت بار: ≥10 kΩ |
| کانکتور I/O |
D-Sub 15 پین |
| رابط دیجیتال |
EtherCAT |
| ولتاژ تغذیه |
24 VDC ±5٪، حداکثر 28 وات |
| زمان گرم شدن |
120 دقیقه |
| خروجی رله |
معمولاً باز، 4 عدد، ولتاژ نامی: 40 VDC، جریان نامی: 1 A |
| ولتاژ ترمینال باز |
24 VDC، جریان روشن: ≥1 mA، جریان نشتی: ≤0.1 mA |
| اتصال استاندارد |
KF16، ½ اینچ VCR ماده (مادگی) |
| محدوده اندازهگیری اضافی |
1.3332 kPa (A) / 13.332 kPa (A) / 133.32 kPa (A) |
| دقت اضافی |
0.3 %R.S |
| رزولوشن اضافی |
0.003 %F.S |
| ضریب تغییر اضافی |
0.008 %F.S./°C |






















