مانومتر خازنی HORIBA مدل VG-527S یک ابزار دقیق برای اندازهگیری فشار مطلق است که در فرآیندهای خلأ صنعتی مانند نیمههادی، نمایشگرهای تخت (FPD)، هارد دیسک، انرژی خورشیدی (PV) و پوششدهی کاربرد دارد. این سنسور با استفاده از دیافراگم خازنی، تغییر شکل دیافراگم در اثر اختلاف فشار را اندازهگیری میکند و به این ترتیب فشار کل سیستم را مشخص میکند. VG-527S دقت بالایی دارد، به تغییرات گازها حساسیت کمتری نشان میدهد و در برابر گازهای خورنده نسبتا مقاوم است. این مانومتر دارای رزولوشن بالا، زمان پاسخ سریع (<15 میلیثانیه)، محدودههای فشار متنوع، اتصال استاندارد KF16 و قابلیت خروجی آنالوگ 0–10 VDC و رابط دیجیتال EtherCAT® است و با بدنه و قطعات مرطوب SUS316L، مناسب محیطهای صنعتی پرچالش طراحی شده است.
ویژگیهای کلیدی مانومتر خازنی HORIBA VG-527S
دقت بالا در اندازهگیری فشار مطلق، مناسب فرآیندهای حساس صنعتی.
پایداری و مقاومت نسبت به گازهای خورنده به دلیل استفاده از مواد SUS316L.
حساسیت کم به نوع گاز، برای کاربردهای متنوع صنعتی.
زمان پاسخ سریع، مناسب برای کنترل فرآیند لحظهای.
انعطافپذیری در اتصال و نصب با فیتینگ استاندارد KF16 و قابلیت چرخش بدنه.
قابلیت خروجی همزمان آنالوگ و دیجیتال، آسان برای یکپارچهسازی با سیستمهای کنترلی.
محدوده فشار گسترده و رزولوشن بالا، قابل استفاده در فرآیندهای دقیق و خلأ.
توضیحات تکمیلی
برندکمپانی سازنده
Horiba
محدوده اندازهگیری F.S
0.13332 kPa (A)
دمای سنسور
100-200 °C
دقت
0.5 %R.S
رزولوشن
0.01 %F.S
ضریب تغییر صفر با دما
0.016 %F.S./°C
ضریب تغییر دامنه با دما
0.02 %R.S./°C
زمان پاسخگویی
< 15 میلیثانیه
دمای کاری
10-60 °C
مواد مرطوب شونده
SUS316L
حد فشار
300 kPa (A) / 350 kPa (A)
سیگنال خروجی
0-10 VDC، مقاومت بار: ≥10 kΩ
کانکتور I/O
D-Sub 15 پین
رابط دیجیتال
EtherCAT
ولتاژ تغذیه
24 VDC ±5٪، حداکثر 28 وات
زمان گرم شدن
120 دقیقه
خروجی رله
معمولاً باز، 4 عدد، ولتاژ نامی: 40 VDC، جریان نامی: 1 A
